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・该产品为外部先导规格，可真空使用。
・铝制一体型集装式・可安装DIN导轨。
・集装型号：VV3QZ12，VV3QZ15，VV3QZ22，VV3QZ25，
VV3QZ32，VV3QZ35
| 系列 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VQZ100 | 0.56 | 0.30 | 0.14 | 0.35（标准） 0.9（高压型、 高速响应型） | －100kPa |
| VQZ200 | 1.7 | 0.36 | 0.45 | 0.35（标准） 0.9（高压型、 高速响应型） | －100kPa |
| VQZ300 | 3.0 | 0.33 | 0.72 | 0.35（标准） 0.9（高压型、 高速响应型） | －100kPa |
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