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 | ・控制器和高压电源组件可分离安装 |
| 其他资料 |
|---|
| 系列 | 形式 | 离子产生方式 | 偏置电压 （离子平衡） |
|---|---|---|---|
| IZT42 | 双AC方式 | 电晕放电式 | ±30V以内 |
| IZT41 | AC方式 | 电晕放电式 | ±30V以内 |
| IZT40 | 标准型 | 电晕放电式 | ±30V以内 |
■节省空间：高37mm× 宽30mm
高：57mm 缩短(60%)
可在狭小空间内设置
■双 AC 方式 IZT42 系列（ 降低电位振幅规格）
采用SMC 独有的双AC 方式可降低电位振幅。
即使是対静电敏感的设各，也可防止静电放电(ESD) 的破坏，除去静电。即使近
距离设置也可降低目标工件的电位振幅。
双AC 方式 IZT42
同时粋放＋离子和－离子. ＋／－离子均等到达工件. 因此电位振幅较小。
AC 方式 IZT40/IZT41
＋禽子和一禽子以帯状. 交替式到込工件. 因此除电放率提高。
玻璃基板的除静电
从平台上拾取时. 防止由剥离帯电导致的静电破坏
电气基板的除静电
・防止放电导致的元件破损
・防止灰尘附着
■AC 方式 IZT41 系列
■自由的布局
控制器和高压电源组件可分离安装
1 台控制器最多可连接4 根棒体
2 种电极针材质
钨/ 单晶硅( 硅晶片用)
、
防止电极针卡盘落下功能
两歩动作锁定
■型号区分 功能一览
■附件(单独订购用)
■用途例
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