SMC 薄型真空发生器、真空泵系统 ZQ
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・对应真空发生器系统／真空泵系统。
・宽：10mm、质量：109g（单体、带真空压力开关＋真空过滤器）。
・数字式真空压力开关。
・带LED显示功能。
・可集装化。
| 真空发生器系列 | 喷嘴径
(mm) | 最大吸入流量
［L/min(ANR)] | 空气消耗量
［L/min(ANR)] | 适合吸盘
(mm) | 真空泵系统系列 |
|---|
| ZQ105 | 0.5 | 5 | 14 | 2～13 | ZQ1000 |
| ZQ107 | 0.7 | 10 | 23 | 2～20 | ZQ1000 |
| ZQ110 | 1.0 | 22 | 46 | 2～32 | ZQ1000 |
