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SMC缝阀 XGT
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・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
系列
使用压力范围（Pa）
使用流体
门尺寸
（高×宽）（mm）
动作压力
（MPa）
XGT
大气压～1×10
-6
惰性气体类的真空
32×222
46×236
50×336
0.45～0.6
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